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CCD 视觉检测系统响应的非均匀性分析
由于CCD 制造工艺过程及材料的非均匀性,如沟道掺杂浓度不均匀、表面密度分布不均匀以及栅氧化物厚度不同所造成的开启电压不同、感光单元有效面积不同等都会引起CCD 光敏元件响应的非均匀性, 而且越是大规模的器件, 非均匀性问题越突出, 同时由此造成的暗电流的分布也是不均匀的, 这直接引起CCD 的固定图像噪声,导致CCD 在实际测量中存在所测得结果与实际值不符的问题。
光学镜头采用多种镜片结构主要是为了纠正单块镜片所造成的失真, 但是由于光线在镜片中的折射率不一样, 透过镜片后会因为镜片的干扰而产生像差, 例如球面像差, 晕光和失光。目前使用的镜头也只能尽量减少失真, 不能避免失真现象。
高亮度单色光源中LED 亮度随着自身温度的升高而产生一定程度的衰减, 同时光源在发光面上的不均匀性也会造成CCD 响应的非均匀性,此外环境光的照度也会影响到CCD 成像面的照度值并直接影响检测结果。
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